Модернизированная технология получения поликристаллического кремния.
Характеристики: Значение: Уровень акцепторов 0,1 – 0,05 ppba (р – тип, ρ = 3000 – 5000 Ом*см и выше) Уровень доноров 0,1 – 0,15 ppba (n – тип, ρ = 300 – 500 Ом*см и выше) Содержание углерода